Mikrobohrung für eine definierte Gasdiffusion Mikrobohrung für eine definierte Gasdiffusion

Mikromaterialbearbeitung mit dem Excimerlaser

Die Materialbearbeitung mit dem Excimerlaser hat für bestimmte Anwendungen besondere Vorteile. Aufgrund der hohen Absorption vieler Materialien als Grundvoraussetzung für den Ablationsprozess wird der thermische Eintrag in das verbleibende Material wie bei keinem anderen ablativen Laserverfahren minimiert. Gerade Polymere aber auch biologische Gewebe etc. lassen ich so durch geringe Abtragsraten pro Laserpuls  im Bereich von wenigen 10nm gezielt bearbeiten.

Dank einer NC Steuerung und einer ausgefeilten Laserbearbeitungssoftware können auch komplizierteste 2 dimensionale Strukturen bearbeitet werden (3 d auf Anfrage).

 

 

Die wichtigsten Spezifikationen:

- Strukturgrößen im μm-Bereich möglich
- keine thermische Veränderung im verbleibenden Material
- Bearbeitung fast aller Materialien möglich:
  z. B.  Polymere, Glas und Metall
- Gezielter Abtrag von Schichten im Submikrometerbereich 

  (Multilayeranwendungen)
- debrisfreie Bearbeitung durch N2-Spülung

 

Anwendungsbeispiele

- Mikrobohrungen (10-500μm) für definierte Diffusionsbarrieren bei

  Gassensoren
- dauerhaft, „kalte“ Beschriftungen an feinsten, dünnen Materialien
- Schneiden von dünnen Folien beliebiger Konturen
- 3D Anwendungen auf Anfrage
- gezielte, schädigungsfreie Abtragungen von Mikrometerschichten an

  Multilayerstrukturen, z.B. an Halbleiterstrukturen, Retinaimplantaten,
  Schutzbeschichtungen wie Parylen, etc.

 

 

Für eine Anfrage von:

  • Machbarkeitsstudien
  • Spezifischer Kleinserien- oder Einzelanfertigung
  • Auftragsfertigung von Prototypen
  • Optimierung eines Laserprozesses

stehen wir jederzeit gerne zur Verfügung.

 

Kontakt:

Dipl.-Ing. Norbert Koop

Tel: 0451-5006503

koop@mll.uni-luebeck.de